Физика и техника полупроводников
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Физика и техника полупроводников:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Физика и техника полупроводников, 2016, том 50, выпуск 9, страницы 1178–1184 (Mi phts6358)  

Эта публикация цитируется в 2 научных статьях (всего в 2 статьях)

Поверхность, границы раздела, тонкие пленки

Связь структурно-фазовых изменений в пленках оксида титана с электрическими и фотоэлектрическими характеристиками структур TiO$_{2}$–Si

В. М. Калыгина, И. М. Егорова, В. А. Новиков, И. А. Прудаев, О. П. Толбанов

Национальный исследовательский Томский государственный университет
Аннотация: Исследовано влияние термического отжига в аргоне и воздействие кислородной плазмы на вольт-амперные характеристики и фотоотклик структур TiO$_{2}$–Si. Пленки оксида титана получали ВЧ магнетронным напылением на подложках $n$-Si. Наблюдаемые особенности поведения электрических и фотоэлектрических характеристик образцов после отжига и обработки в кислородной плазме связаны с изменением фазового состава оксидной пленки за счет появления кристаллитов анатаза или рутила в зависимости от условий обработки.
Поступила в редакцию: 16.02.2016
Принята в печать: 24.02.2016
Англоязычная версия:
Semiconductors, 2016, Volume 50, Issue 9, Pages 1156–1162
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063782616090104
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: В. М. Калыгина, И. М. Егорова, В. А. Новиков, И. А. Прудаев, О. П. Толбанов, “Связь структурно-фазовых изменений в пленках оксида титана с электрическими и фотоэлектрическими характеристиками структур TiO$_{2}$–Si”, Физика и техника полупроводников, 50:9 (2016), 1178–1184; Semiconductors, 50:9 (2016), 1156–1162
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{KalEgoNov16}
\by В.~М.~Калыгина, И.~М.~Егорова, В.~А.~Новиков, И.~А.~Прудаев, О.~П.~Толбанов
\paper Связь структурно-фазовых изменений в пленках оксида титана с электрическими и фотоэлектрическими характеристиками структур TiO$_{2}$--Si
\jour Физика и техника полупроводников
\yr 2016
\vol 50
\issue 9
\pages 1178--1184
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/phts6358}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=27368984}
\transl
\jour Semiconductors
\yr 2016
\vol 50
\issue 9
\pages 1156--1162
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063782616090104}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/phts6358
  • https://www.mathnet.ru/rus/phts/v50/i9/p1178
  • Эта публикация цитируется в следующих 2 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    Физика и техника полупроводников Физика и техника полупроводников
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:40
    PDF полного текста:16
     
      Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024