|
Физика и техника полупроводников, 2016, том 50, выпуск 12, страницы 1610–1614
(Mi phts6279)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 5 научных статьях (всего в 5 статьях)
XX Международный симпозиум ''Нанофизика и наноэлектроника'', Нижний Новгород, 14-18 марта 2016 г.
Напряженные многослойные структуры с псевдоморфными слоями GeSiSn
В. А. Тимофеевa, А. И. Никифоровab, А. Р. Туктамышевa, М. Ю. Есинa, В. И. Машановa, А. К. Гутаковскийa, Н. А. Байдаковаc a Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, г. Новосибирск
b Национальный исследовательский Томский государственный университет
c Институт физики микроструктур РАН, г. Нижний Новгород
Аннотация:
Изучены температурные и композиционные зависимости критической толщины 2D–3D перехода для пленки GeSiSn на поверхности Si(100). Впервые исследованы закономерности формирования многослойных структур, содержащих псевдоморфные слои GeSiSn непосредственно на Si без релаксированных буферных слоев. Методом просвечивающей электронной микроскопии показана возможность создания многослойных структур на основе псевдоморфных пленок GeSiSn и определены параметры кристаллической решетки. Выращенные структуры продемонстрировали фотолюминесценцию для содержания Sn в слоях GeSiSn от 3.5 до 5%.
Поступила в редакцию: 27.04.2016 Принята в печать: 10.05.2016
Образец цитирования:
В. А. Тимофеев, А. И. Никифоров, А. Р. Туктамышев, М. Ю. Есин, В. И. Машанов, А. К. Гутаковский, Н. А. Байдакова, “Напряженные многослойные структуры с псевдоморфными слоями GeSiSn”, Физика и техника полупроводников, 50:12 (2016), 1610–1614; Semiconductors, 50:12 (2016), 1584–1588
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts6279 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v50/i12/p1610
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 33 | PDF полного текста: | 13 |
|