Влияние типа и степени легирования на морфологию $por$-Si, полученного гальваническим травлением

Изучен процесс формирования слоев пористого кремния гальваническим травлением в растворе HF/C$_{2}$H$_{5}$OH/H$_{2}$O$_{2}$ монокристаллического Si, легированного бором и фосфором. Проведено исследование $por$-Si методами капиллярной конденсации азота и растровой электронной микроскопии. Установлены зависимости морфологических характеристик $por$-Si, таких как диаметр пор, удельная площадь и объем поверхности, толщина стенок пор, определяющих кинетику горения Si, от типа легирования и удельного сопротивления исходной пластины.