|
Эта публикация цитируется в 20 научных статьях (всего в 20 статьях)
Изготовление, обработка, тестирование материалов и структур
Влияние плотности энергии на мишени на свойства пленок SnO$_{2}$ : Sb при использовании скоростного сепаратора частиц
Л. С. Паршинаa, О. Д. Храмоваa, О. А. Новодворскийa, А. А. Лотинa, И. А. Петуховb, Ф. Н. Путилинb, К. Д. Щербачевc a ИПЛИТ РАН – филиал Федерального научно-исследовательского центра "Кристаллография и фотоника" Российской академии наук, Шатура, Россия
b Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова
c Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС", г. Москва
Аннотация:
Методом импульсного лазерного осаждения со скоростной сепарацией частиц на подложках кварцевого стекла без последующего отжига получены тонкие пленки SnO$_{2}$ : Sb при различных условиях осаждения в диапазоне плотности энергии на мишени от 3.4 до 6.8 Дж/см$^{2}$. Исследованы их оптические, структурные и электрические свойства. Установлено, что плотность энергии на мишени влияет на проводимость и пропускание пленок SnO$_{2}$ : Sb. Определены оптимальные условия получения пленок бескапельным методом импульсного лазерного осаждения. Минимум удельного сопротивления 1.2 $\cdot$ 10$^{-3}$ Ом $\cdot$ см наблюдался при плотности энергии на мишени 4.6 Дж/см$^{2}$, температуре подложки 300$^\circ$C и давлении кислорода в вакуумной камере в процессе осаждения 20 мТорр.
Поступила в редакцию: 09.08.2016 Принята в печать: 17.08.2016
Образец цитирования:
Л. С. Паршина, О. Д. Храмова, О. А. Новодворский, А. А. Лотин, И. А. Петухов, Ф. Н. Путилин, К. Д. Щербачев, “Влияние плотности энергии на мишени на свойства пленок SnO$_{2}$ : Sb при использовании скоростного сепаратора частиц”, Физика и техника полупроводников, 51:3 (2017), 426–430; Semiconductors, 51:3 (2017), 407–411
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts6222 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v51/i3/p426
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 57 | PDF полного текста: | 20 |
|