|
Эта публикация цитируется в 8 научных статьях (всего в 8 статьях)
Спектроскопия, взаимодействие с излучениями
Влияние имплантации H$^{+}$ на оптические свойства кристаллов полуизолирующего арсенида галлия в ИК-области спектра
Н. И. Клюйab, В. Б. Лозинскийab, А. И. Липтугаb, В. Н. Дикушаb, А. П. Оксаничc, М. Г. Когдасьc, А. Л. Перехрестc, С. Э. Притчинc a Институт физики, Цзилинский университет, Чанчунь, КНР
b Институт физики полупроводников им. В. Е. Лашкарева НАН Украины, г. Киев
c Кременчугский национальный университет им. Михаила Остроградского, Кременчуг, Украина
Аннотация:
Исследованы оптические свойства кристаллов полуизолирующего арсенида галлия (АГЧП), подвергнутого мультиэнергетической имплантации ионов водорода и обработке в высокочастотном электромагнитном поле, в инфракрасной области спектра. Установлено, что такая комбинированная обработка позволяет существенно повысить пропускание кристалла АГЧП до величин, характерных для кристаллов хорошего оптического качества. На основе анализа результатов исследования пропускания и отражения АГЧП в инфракрасной области спектра, спектров комбинационного рассеяния света, морфологии поверхности методом атомно-силовой микроскопии предложена физическая модель, объясняющая наблюдаемые эффекты. Модель учитывает взаимодействие радиационных дефектов с исходными дефектами структуры АГЧП, а также эффект компенсации дефектных центров водородом в процессе высокочастотной обработки.
Поступила в редакцию: 12.04.2016 Принята в печать: 20.04.2016
Образец цитирования:
Н. И. Клюй, В. Б. Лозинский, А. И. Липтуга, В. Н. Дикуша, А. П. Оксанич, М. Г. Когдась, А. Л. Перехрест, С. Э. Притчин, “Влияние имплантации H$^{+}$ на оптические свойства кристаллов полуизолирующего арсенида галлия в ИК-области спектра”, Физика и техника полупроводников, 51:3 (2017), 317–321; Semiconductors, 51:3 (2017), 305–309
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts6202 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v51/i3/p317
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 23 | PDF полного текста: | 6 |
|