|
Электронные свойства полупроводников
Атомная конфигурация и зарядовое состояние водорода на дислокациях в кремнии
Н. В. Высотский, А. С. Лошаченко, О. Ф. Вывенко Санкт-Петербургский государственный университет
Аннотация:
Исследовалось влияние введения водорода на колебательные спектры и электрофизические свойства образцов с дислокационными сетками (ДС) на интерфейсе сращенных пластин кремния. Для увеличения чувствительности измерений и выделения сигнала ДС в спектрах комбинационного рассеяния использовались образцы в виде стандартных тонких фольг, применяемых в просвечивающей электронной микроскопии. В образцах с дислокационными сетками был зарегистрирован пик комбинационного рассеяния 2000 см$^{-1}$, который сохранялся после отжига при $T$ = 500$^\circ$C и не наблюдался в контрольных образцах. Сопоставление экспериментальных данных с имеющимися теоретическими расчетами позволило приписать обнаруженный пик к $H^{0}$ в центре Si-Si связи, который является метастабильным в идеальной решетке, но стабилизируется в окрестности дислокации.
Поступила в редакцию: 26.07.2016 Принята в печать: 10.08.2016
Образец цитирования:
Н. В. Высотский, А. С. Лошаченко, О. Ф. Вывенко, “Атомная конфигурация и зарядовое состояние водорода на дислокациях в кремнии”, Физика и техника полупроводников, 51:3 (2017), 305–310; Semiconductors, 51:3 (2017), 293–298
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts6200 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v51/i3/p305
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 35 | PDF полного текста: | 10 |
|