|
Эта публикация цитируется в 6 научных статьях (всего в 6 статьях)
Неэлектронные свойства полупроводников (атомная структура, диффузия)
Кристаллические дефекты в фотопреобразователях, полученных методом термомиграции
В. Н. Лозовскийa, А. А. Ломовb, Л. С. Лунинa, Б. М. Серединa, Ю. М. Чесноковc a Южно-Российский государственный политехнический университет (НПИ) им. М.И. Платова, Новочеркасск, Россия
b Физико-технологический институт РАН, г. Москва
c Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", г. Москва
Аннотация:
Приводятся результаты исследований кристаллической структуры областей кремния, перекристаллизованных в процессе термомиграции жидкой кремний-алюминиевой зоной. Подобные области, легированные акцепторной примесью, необходимы для получения высоковольтных фотопреобразователей.
С помощью рентгеновских дифракционных методов двухкристальных кривых отражения и топографии, а также просвечивающей электронной микроскопии высокого разрешения установлено, что при проведении термомиграции жидких зон в виде серии тонких полос или прямоугольных сеток формируются монокристаллические области. Выявлены дислокационные полупетли, которые лежат в поверхностных слоях лицевой и тыльной сторон подложки. В перекристаллизованных областях обнаружены $\{311\}$-дефекты.
Поступила в редакцию: 12.04.2016 Принята в печать: 20.04.2016
Образец цитирования:
В. Н. Лозовский, А. А. Ломов, Л. С. Лунин, Б. М. Середин, Ю. М. Чесноков, “Кристаллические дефекты в фотопреобразователях, полученных методом термомиграции”, Физика и техника полупроводников, 51:3 (2017), 297–301; Semiconductors, 51:3 (2017), 285–289
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts6198 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v51/i3/p297
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 32 | PDF полного текста: | 8 |
|