Физика и техника полупроводников
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Физика и техника полупроводников:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Физика и техника полупроводников, 2017, том 51, выпуск 4, страницы 524–528
DOI: https://doi.org/10.21883/FTP.2017.04.44346.8311 (Mi phts6188) 		 
Физика полупроводниковых приборов

Модуляционно-поляризационная диагностика термонапряжений в интегральном преобразователе давления

И. В. Михайленкоa, А. Т. Орловb, Б. К. Сердегаa

a Институт физики полупроводников им. В. Е. Лашкарева НАН Украины, г. Киев
b Национальный технический университет Украины "Киевский политехнический институт"
PDF полного текста (337 kB)
DOI: https://doi.org/10.21883/FTP.2017.04.44346.8311
Аннотация: В полупроводниковом преобразователе давления, состоящем из сенсорного резистора, имплантированного в кремниевую мембрану, как упругий элемент механики, техникой модуляционной поляриметрии детектированы внутренние механические напряжения. Координатные распределения одноосных напряжений измерены в двух случаях – напряжения, остаточные от локальных неоднородностей легирования кристалла, и напряжения, обусловленные разогревом от протекающего тока. Координатное распределение температуры от теплового потока, выделяемого током в резисторе, получено двойным интегрированием функции напряжения с учетом соответствующих граничных условий.
Поступила в редакцию: 06.09.2016
Принята в печать: 26.09.2016
Англоязычная версия:
Semiconductors, 2017, Volume 51, Issue 4, Pages 498–502
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063782617040145
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: И. В. Михайленко, А. Т. Орлов, Б. К. Сердега, “Модуляционно-поляризационная диагностика термонапряжений в интегральном преобразователе давления”, Физика и техника полупроводников, 51:4 (2017), 524–528; Semiconductors, 51:4 (2017), 498–502
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{MikOrlSer17}
\by И.~В.~Михайленко, А.~Т.~Орлов, Б.~К.~Сердега
\paper Модуляционно-поляризационная диагностика термонапряжений в интегральном преобразователе давления
\jour Физика и техника полупроводников
\yr 2017
\vol 51
\issue 4
\pages 524--528
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/phts6188}
\crossref{https://doi.org/10.21883/FTP.2017.04.44346.8311}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=29404895}
\transl
\jour Semiconductors
\yr 2017
\vol 51
\issue 4
\pages 498--502
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063782617040145}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/phts6188
  • https://www.mathnet.ru/rus/phts/v51/i4/p524
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Физика и техника полупроводников Физика и техника полупроводников
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024