|
Эта публикация цитируется в 2 научных статьях (всего в 2 статьях)
Изготовление, обработка, тестирование материалов и структур
Влияние температуры осаждения на структуру и оптические свойства пленок селенида цинка, полученных ВЧ магнетронным распылением
В. Ф. Кобзиев, Р. М. Закирова, Н. В. Костенков, П. Н. Крылов, И. В. Федотова Удмуртский государственный университет, г. Ижевск
Аннотация:
Исследовано влияние температуры конденсации на скорость роста, структуру и оптические свойства полученных ВЧ магнетронным распылением пленок селенида цинка. С увеличением температуры осаждения толщина пленок уменьшается. Поликристаллические пленки селенида цинка состоят из смеси кубической и гексагональной фаз с преобладанием кубической фазы. Показана корреляция величины показателя преломления и размеров кристаллитов.
Поступила в редакцию: 22.11.2016 Принята в печать: 28.11.2016
Образец цитирования:
В. Ф. Кобзиев, Р. М. Закирова, Н. В. Костенков, П. Н. Крылов, И. В. Федотова, “Влияние температуры осаждения на структуру и оптические свойства пленок селенида цинка, полученных ВЧ магнетронным распылением”, Физика и техника полупроводников, 51:6 (2017), 850–854; Semiconductors, 51:6 (2017), 817–822
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts6145 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v51/i6/p850
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 37 | PDF полного текста: | 11 |
|