Физика и техника полупроводников
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Физика и техника полупроводников:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Физика и техника полупроводников, 2017, том 51, выпуск 6, страницы 850–854
DOI: https://doi.org/10.21883/FTP.2017.06.44567.8455
(Mi phts6145)
 

Эта публикация цитируется в 2 научных статьях (всего в 2 статьях)

Изготовление, обработка, тестирование материалов и структур

Влияние температуры осаждения на структуру и оптические свойства пленок селенида цинка, полученных ВЧ магнетронным распылением

В. Ф. Кобзиев, Р. М. Закирова, Н. В. Костенков, П. Н. Крылов, И. В. Федотова

Удмуртский государственный университет, г. Ижевск
Аннотация: Исследовано влияние температуры конденсации на скорость роста, структуру и оптические свойства полученных ВЧ магнетронным распылением пленок селенида цинка. С увеличением температуры осаждения толщина пленок уменьшается. Поликристаллические пленки селенида цинка состоят из смеси кубической и гексагональной фаз с преобладанием кубической фазы. Показана корреляция величины показателя преломления и размеров кристаллитов.
Поступила в редакцию: 22.11.2016
Принята в печать: 28.11.2016
Англоязычная версия:
Semiconductors, 2017, Volume 51, Issue 6, Pages 817–822
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063782617060161
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: В. Ф. Кобзиев, Р. М. Закирова, Н. В. Костенков, П. Н. Крылов, И. В. Федотова, “Влияние температуры осаждения на структуру и оптические свойства пленок селенида цинка, полученных ВЧ магнетронным распылением”, Физика и техника полупроводников, 51:6 (2017), 850–854; Semiconductors, 51:6 (2017), 817–822
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{KobZakKos17}
\by В.~Ф.~Кобзиев, Р.~М.~Закирова, Н.~В.~Костенков, П.~Н.~Крылов, И.~В.~Федотова
\paper Влияние температуры осаждения на структуру и оптические свойства пленок селенида цинка, полученных ВЧ магнетронным распылением
\jour Физика и техника полупроводников
\yr 2017
\vol 51
\issue 6
\pages 850--854
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/phts6145}
\crossref{https://doi.org/10.21883/FTP.2017.06.44567.8455}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=29404955}
\transl
\jour Semiconductors
\yr 2017
\vol 51
\issue 6
\pages 817--822
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063782617060161}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/phts6145
  • https://www.mathnet.ru/rus/phts/v51/i6/p850
  • Эта публикация цитируется в следующих 2 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    Физика и техника полупроводников Физика и техника полупроводников
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:37
    PDF полного текста:11
     
      Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024