|
Эта публикация цитируется в 4 научных статьях (всего в 4 статьях)
Изготовление, обработка, тестирование материалов и структур
Влияние постоянного магнитного поля на формирование силицидных фаз в структуре Cu/Si(100) при изотермическом отжиге
Э. Ю. Бучин, В. В. Наумов, С. В. Васильев Ярославский филиал Федерального государственного бюджетного учреждения науки Физико-технологического института РАН
Аннотация:
Экспериментально показано, что процесс твердофазного синтеза силицида меди является магниточувствительным. При низкотемпературном вакуумном отжиге тонкопленочной структуры Cu/Si(100) постоянное магнитное поле умеренной напряженности стимулирует образование твердого раствора кремния в меди и подавляет синтез фазы Cu$_{3}$Si.
Поступила в редакцию: 26.07.2016 Принята в печать: 28.11.2016
Образец цитирования:
Э. Ю. Бучин, В. В. Наумов, С. В. Васильев, “Влияние постоянного магнитного поля на формирование силицидных фаз в структуре Cu/Si(100) при изотермическом отжиге”, Физика и техника полупроводников, 51:6 (2017), 844–849; Semiconductors, 51:6 (2017), 812–816
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts6144 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v51/i6/p844
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 34 | PDF полного текста: | 9 |
|