|
Эта публикация цитируется в 5 научных статьях (всего в 5 статьях)
Неэлектронные свойства полупроводников (атомная структура, диффузия)
Изучение профиля распределения железа, имплантированного в кремний
А. В. Кожемякоa, Ю. В. Балакшинb, А. А. Шемухинb, В. С. Чернышab a Физический факультет, Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова
b Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова, Научно-исследовательский институт ядерной физики им. Д. В. Скобельцына
Аннотация:
Проведена имплантация ионов железа с энергиями 90, 250 кэВ и дозой облучения 10$^{16}$ см$^{-2}$ в монокристалл кремния с ориентацией (110). Методом резерфордовского обратного рассеяния в сочетании с каналированием изучены профили распределения внедренной примеси, а также профили распределения радиационных дефектов в кристаллической решетке. Экспериментальные результаты сравниваются с результатами моделирования в программе TRIM. Показано, что при энергии 4.6 кэВ/нуклон средние проективные пробеги совпадают, однако при энергии 1.6 кэВ/нуклон различие составляет 35%. Кроме того показано, что расчет некорректно учитывает дозовую зависимость при энергиях 1.6–4.6 кэВ/нуклон.
Поступила в редакцию: 23.11.2016 Принята в печать: 28.11.2016
Образец цитирования:
А. В. Кожемяко, Ю. В. Балакшин, А. А. Шемухин, В. С. Черныш, “Изучение профиля распределения железа, имплантированного в кремний”, Физика и техника полупроводников, 51:6 (2017), 778–782; Semiconductors, 51:6 (2017), 745–750
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts6134 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v51/i6/p778
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 30 | PDF полного текста: | 13 |
|