|
Эта публикация цитируется в 6 научных статьях (всего в 6 статьях)
XV Международная конференция ''Термоэлектрики и их применения-2016'', Санкт-Петербург, 15-16 ноября 2016 г.
Структура термоэлектрических пленок высшего силицида марганца на кремнии по данными электронной микроскопии
А. С. Ореховab, Т. С. Камиловc, Б. В. Ибрагимоваc, Г. И. Ивакинa, В. В. Клечковскаяa a Институт кристаллографии им. А.В. Шубникова
Федерального научно-исследовательского центра "Кристаллография и фотоника" Российской академии наук, Москва, Россия
b Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", г. Москва
c Ташкентский государственный технический университет
Аннотация:
Проведен сравнительный анализ структурных особенностей пленок высшего силицида марганца, выращенных методом диффузионного легирования монокристаллических подложек кремния парами марганца в запаянной ампуле и проточном кварцевом реакторе при постоянной откачке. Методами растровой электронно-ионной микроскопии и высокоразрешающей просвечивающей электронной микроскопии показано, что в откаченной ампуле формируется однофазная текстурированная пленка высшего силицида марганца. Изменение условий роста со стационарных (ампула) на квазистационарные (реактор) приводит к формированию поликристаллических островков высшего силицида марганца с наноразмерными включениями фазы моносилицида марганца.
Поступила в редакцию: 12.12.2016 Принята в печать: 19.12.2016
Образец цитирования:
А. С. Орехов, Т. С. Камилов, Б. В. Ибрагимова, Г. И. Ивакин, В. В. Клечковская, “Структура термоэлектрических пленок высшего силицида марганца на кремнии по данными электронной микроскопии”, Физика и техника полупроводников, 51:6 (2017), 740–743; Semiconductors, 51:6 (2017), 706–709
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts6125 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v51/i6/p740
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 36 | PDF полного текста: | 9 |
|