Физика и техника полупроводников
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Физика и техника полупроводников:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Физика и техника полупроводников, 2017, том 51, выпуск 7, страницы 877–879
DOI: https://doi.org/10.21883/FTP.2017.07.44631.17
(Mi phts6088)
 

Эта публикация цитируется в 12 научных статьях (всего в 12 статьях)

XV Международная конференция ''Термоэлектрики и их применения-2016'', Санкт-Петербург, 15-16 ноября 2016 г.

Измерение толщины блочных пленок висмута методом атомно-силовой микроскопии с применением избирательного химического травления

Е. В. Демидов, В. А. Комаров, А. Н. Крушельницкий, А. В. Суслов

Российский государственный педагогический университет им. А. И. Герцена, г. Санкт-Петербург
Аннотация: С использованием атомно-силовой микроскопии и избирательного химического травления предложен способ измерения толщины блочных пленок. Предложенный способ апробирован для тонких пленок висмута на слюде, полученных методом термического испарения в вакууме.
Поступила в редакцию: 27.12.2016
Принята в печать: 12.01.2017
Англоязычная версия:
Semiconductors, 2017, Volume 51, Issue 7, Pages 840–842
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063782617070065
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: Е. В. Демидов, В. А. Комаров, А. Н. Крушельницкий, А. В. Суслов, “Измерение толщины блочных пленок висмута методом атомно-силовой микроскопии с применением избирательного химического травления”, Физика и техника полупроводников, 51:7 (2017), 877–879; Semiconductors, 51:7 (2017), 840–842
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{DemKomKru17}
\by Е.~В.~Демидов, В.~А.~Комаров, А.~Н.~Крушельницкий, А.~В.~Суслов
\paper Измерение толщины блочных пленок висмута методом атомно-силовой микроскопии с применением избирательного химического травления
\jour Физика и техника полупроводников
\yr 2017
\vol 51
\issue 7
\pages 877--879
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/phts6088}
\crossref{https://doi.org/10.21883/FTP.2017.07.44631.17}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=29772346 }
\transl
\jour Semiconductors
\yr 2017
\vol 51
\issue 7
\pages 840--842
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063782617070065}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/phts6088
  • https://www.mathnet.ru/rus/phts/v51/i7/p877
  • Эта публикация цитируется в следующих 12 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    Физика и техника полупроводников Физика и техника полупроводников
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:39
    PDF полного текста:13
     
      Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024