|
Эта публикация цитируется в 12 научных статьях (всего в 12 статьях)
XV Международная конференция ''Термоэлектрики и их применения-2016'', Санкт-Петербург, 15-16 ноября 2016 г.
Измерение толщины блочных пленок висмута методом атомно-силовой микроскопии с применением избирательного химического травления
Е. В. Демидов, В. А. Комаров, А. Н. Крушельницкий, А. В. Суслов Российский государственный педагогический университет им. А. И. Герцена, г. Санкт-Петербург
Аннотация:
С использованием атомно-силовой микроскопии и избирательного химического травления предложен способ измерения толщины блочных пленок. Предложенный способ апробирован для тонких пленок висмута на слюде, полученных методом термического испарения в вакууме.
Поступила в редакцию: 27.12.2016 Принята в печать: 12.01.2017
Образец цитирования:
Е. В. Демидов, В. А. Комаров, А. Н. Крушельницкий, А. В. Суслов, “Измерение толщины блочных пленок висмута методом атомно-силовой микроскопии с применением избирательного химического травления”, Физика и техника полупроводников, 51:7 (2017), 877–879; Semiconductors, 51:7 (2017), 840–842
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts6088 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v51/i7/p877
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 39 | PDF полного текста: | 13 |
|