|
Эта публикация цитируется в 4 научных статьях (всего в 4 статьях)
Изготовление, обработка, тестирование материалов и структур
Влияние растворителя сульфида аммония на пассивацию поверхности GaSb(100)
М. В. Лебедев, Т. В. Львова, С. И. Павлов, И. В. Седова Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
Аннотация:
Методами рентгеновской фотоэмиссионной спектроскопии и сканирующей электронной микроскопии исследовано влияние растворителя на химический состав сульфидного слоя, образующегося на поверхности GaSb(100). Обработка поверхности GaSb(100) в растворах сульфида аммония приводит к формированию толстого (несколько десятков нанометров) покрытия, представляющего собой смесь различных бинарных и тройных сульфидов галлия и сурьмы. Обнаружено различие химического состава пассивирующих сульфидных слоев, сформированных в водном и спиртовом растворах сульфида аммония. Отжиг сульфидного слоя при 360$^\circ$C приводит к частичной десорбции сурьмы и распаду тройных сульфидов на бинарные составляющие.
Поступила в редакцию: 17.01.2017 Принята в печать: 15.02.2017
Образец цитирования:
М. В. Лебедев, Т. В. Львова, С. И. Павлов, И. В. Седова, “Влияние растворителя сульфида аммония на пассивацию поверхности GaSb(100)”, Физика и техника полупроводников, 51:8 (2017), 1138–1145; Semiconductors, 51:8 (2017), 1093–1100
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts6083 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v51/i8/p1138
|
|