Тонкие пленки CeB$_{6}$, полученные методом электронно-лучевого напыления на различных подложках

Методом электронно-лучевого напыления получены пленки гексаборида церия – материала, перспективного для использования в термоэлектрических устройствах при гелиевых температурах. Напыление проводили с керамических мишеней на диэлектрические, полупроводниковые и металлические подложки при различных температурах. Подробно исследованы микроструктура, элементный и фазовый составы, температурные зависимости удельного сопротивления и коэффициента Зеебека. Получены пленки со структурой CaB$_{6}$, характерной для гексаборида церия, и элементным составом, близким к стехиометрическому. При низких температурах пленки имеют удельное сопротивление несколько больше, а коэффициент Зеебека близок к значениям для монокристаллических образцов. Основной причиной различия величин удельного сопротивления является обнаруженная в пленках большая концентрация примеси кислорода.