|
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)
Микро- и нанокристаллические, пористые, композитные полупроводники
Особенности процесса спекания макропористого кремния в атмосфере аргона
Е. В. Астрова, Н. Е. Преображенский, С. И. Павлов, В. Б. Воронков Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
Аннотация:
Исследованы температурная и временная зависимости процесса спекания макропористого кремния в Ar и Ar+3%H$_{2}$. Определен вклад различных механизмов, определяющих этот процесс. Особенности спекания макропористого кремния изучались с помощью изохронных и изотермических отжигов на образцах с регулярными и случайными макропорами в диапазоне 1000–1225$^\circ$С. Установлено, что на спекание макропористого кремния при атмосферном давлении в потоке инертного газа, содержащего 2 $\cdot$ 10$^{-4}$%O$_{2}$, существенное влияние оказывает термическое травление. Термическое травление конкурирует с процессами переноса вещества, характерными для спекания, и препятствует формированию на поверхности бездефектной корки. Причиной травления является образование газообразной моноокиси кремния, которая уносится вместе с потоком газа. Эффект травления преобладает в области низких температур и не зависит от добавки водорода. Полученные значения энергии активации коэффициента диффузии $E_{a}$ = 2.57 эВ и показатель степени $n$ = 3.31–3.74 в зависимости радиуса пор от времени $r\sim t^{1/n}$ свидетельствуют о смешанном механизме переноса вещества с помощью поверхностной и объемной диффузии атомов кремния.
Поступила в редакцию: 08.02.2017 Принята в печать: 16.02.2017
Образец цитирования:
Е. В. Астрова, Н. Е. Преображенский, С. И. Павлов, В. Б. Воронков, “Особенности процесса спекания макропористого кремния в атмосфере аргона”, Физика и техника полупроводников, 51:9 (2017), 1213–1222; Semiconductors, 51:9 (2017), 1164–1173
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts6041 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v51/i9/p1213
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 25 | PDF полного текста: | 5 |
|