|
Эта публикация цитируется в 5 научных статьях (всего в 5 статьях)
Полупроводниковые структуры, низкоразмерные системы, квантовые явления
Дельта-легирование соединениями марганца гетероструктур на основе GaAs
К. Д. Моисеевa, В. Н. Неведомскийa, Yu. Kudriavtsevb, A. Escobosa-Echavarriab, M. Lopez-Lopezc a Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
b Dep. Ingenieria Eléctrica-SEES, Cinvestav-IPN, México
c Dep. Física, Cinvestav-IPN, Mexico
Аннотация:
Гетероструктуры с квантовыми ямами GaAs/InGaAs/GaAs, легированные пространственно удаленными моноатомными слоями Mn, были получены на подложке GaAs(001) в режиме монослойного наращивания методом молекулярно-пучковой эпитаксии. Комбинированные исследования полученных образцов были проведены при помощи метода вторичной ионной масс-спектрометрии, рентгено-дифракционных измерений и с использованием просвечивающего электронного микроскопа. Исследуемые гетероструктуры с концентрацией легирующей примеси 0.5 монослоя были упруго напряжены и демонстрировали планарные четкие границы раздела без видимых протяженных и точечных дефектов. Предложена методика визуализации распределения концентрации марганца в трехмерной матрице GaAs вблизи квантовой ямы. Согласно экспериментальным результатам существует вероятность диффузии марганца в квантовую яму GaAs/InGaAs/GaAs при уменьшении критической толщины буферного слоя GaAs менее 3 нм.
Поступила в редакцию: 02.02.2017 Принята в печать: 13.02.2017
Образец цитирования:
К. Д. Моисеев, В. Н. Неведомский, Yu. Kudriavtsev, A. Escobosa-Echavarria, M. Lopez-Lopez, “Дельта-легирование соединениями марганца гетероструктур на основе GaAs”, Физика и техника полупроводников, 51:9 (2017), 1189–1195; Semiconductors, 51:9 (2017), 1141–1147
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts6038 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v51/i9/p1189
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 48 | PDF полного текста: | 23 |
|