|
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)
XXI Международный симпозиум ''Нанофизика и наноэлектроника'', Нижний Новгород, 13-16 марта 2017 г.
Применение спектроскопии фотолюминесценции для исследования поперечного скола многослойных гетероструктур
С. М. Планкинаa, О. В. Вихроваb, Б. Н. Звонковb, А. В. Неждановa, И. Ю. Пашенькинa a Национальный исследовательский Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского
b Научно-исследовательский физико-технический институт Нижегородского государственного университета им. Н.И. Лобачевского, г. Нижний Новгород
Аннотация:
Показана возможность комплексного применения фотолюминесценции и спектроскопии комбинационного рассеяния в режиме латерального сканирования поперечных сколов гетероструктур для контроля распределения напряжений, определения толщины эпитаксиальных слоев и состава твердых растворов. Указанным способом исследованы свойства лазерной гетероструктуры с квантовыми ямами InGaAs/GaAsP. Продемонстрирована возможность дифференцированно регистрировать фотолюминесцентное излучение от различных слоев структуры. Установлено, что определение состава твердого раствора In$_{x}$Ga$_{1-x}$P по частотному положению InP-подобной моды и по энергии фотолюминесценции дает близкие значения.
Поступила в редакцию: 27.04.2017 Принята в печать: 12.05.2017
Образец цитирования:
С. М. Планкина, О. В. Вихрова, Б. Н. Звонков, А. В. Нежданов, И. Ю. Пашенькин, “Применение спектроскопии фотолюминесценции для исследования поперечного скола многослойных гетероструктур”, Физика и техника полупроводников, 51:11 (2017), 1510–1513; Semiconductors, 51:11 (2017), 1456–1459
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts5998 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v51/i11/p1510
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 26 | PDF полного текста: | 10 |
|