|
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)
XXI Международный симпозиум ''Нанофизика и наноэлектроника'', Нижний Новгород, 13-16 марта 2017 г.
Особенности селективного легирования марганцем GaAs структур
И. Л. Калентьеваa, О. В. Вихроваa, Ю. А. Даниловa, Б. Н. Звонковa, А. В. Кудринa, М. В. Дорохинa, Д. А. Павловa, И. Н. Антоновa, М. Н. Дроздовb, Ю. В. Усовa a Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского
b Институт физики микроструктур РАН, г. Нижний Новгород
Аннотация:
Исследовано влияние технологических параметров на селективное легирование марганцем арсенид-галлиевых гетероструктур, изготавливаемых сочетанием методов МОС-гидридной эпитаксии и импульсного лазерного нанесения. В качестве этих параметров использованы: содержание примеси в $\delta$-слое марганца и температура формирования структуры. Установлено, что при температуре выращивания $\sim$400$^\circ$C и содержании примеси не более 0.2–0.3 монослоя изготовленные структуры демонстрируют наибольшую электрическую активность и обладают ферромагнитными свойствами. Изучение выращенных структур методами спектроскопии отражения, высокоразрешающей просвечивающей электронной микроскопии и вторичной ионной масс-спектрометрии показало, что применение указанных выше условий при импульсном лазерном нанесении позволяет получать арсенид-галлиевые структуры, которые имеют хорошее кристаллическое качество, а марганец в таких структурах сосредоточен в тонком (7–8 нм) слое без существенного диффузионного размытия и сегрегации.
Поступила в редакцию: 27.04.2017 Принята в печать: 12.05.2017
Образец цитирования:
И. Л. Калентьева, О. В. Вихрова, Ю. А. Данилов, Б. Н. Звонков, А. В. Кудрин, М. В. Дорохин, Д. А. Павлов, И. Н. Антонов, М. Н. Дроздов, Ю. В. Усов, “Особенности селективного легирования марганцем GaAs структур”, Физика и техника полупроводников, 51:11 (2017), 1468–1472; Semiconductors, 51:11 (2017), 1415–1419
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts5989 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v51/i11/p1468
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 24 | PDF полного текста: | 9 |
|