|
Эта публикация цитируется в 3 научных статьях (всего в 3 статьях)
Полупроводниковые структуры, низкоразмерные системы, квантовые явления
Подвижность двумерного электронного газа в DA-$p$HEMT гетроструктурах с различной шириной профиля $\delta$–$n$-слоев
Д. Ю. Протасовab, А. К. Бакаровac, А. И. Тороповac, Б. Я. Берd, Д. Ю. Казанцевd, К. С. Журавлевca a Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, г. Новосибирск
b Новосибирский государственный технический университет
c Новосибирский государственный университет
d Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
Аннотация:
Исследовано влияние профиля распределения атомов кремния в донорных $\delta$-слоях гетероструктур AlGaAs/InGaAs/AlGaAs с донорно-акцепторным легированием на подвижность двумерного электронного газа. Параметры профилей $\delta$-слоев определялись путем аппроксимации нормальным распределением пространственных распределений атомов кремния, измеренных методом вторичной ионной масс-спектроскопии. Показано, что соответствующим выбором условий роста значение стандартного отклонения $\sigma$ профиля $\delta$-слоев было уменьшено с 3.4 до 2.5 нм. Измерения магнитополевых зависимостей эффекта Холла и проводимости позволили установить, что в результате такого уменьшения $\sigma$ подвижность двумерного электронного газа в гетероструктурах возросла на 4000 см$^{2}$/В $\cdot$ с при 77 K и 600 см$^{2}$/В $\cdot$ с при 300 K. Проведенный расчет подвижности с учетом заполнения двух первых подзон размерного квантования показал, что возрастание подвижности хорошо объясняется ослаблением кулоновского рассеяния на ионизированных донорах вследствие увеличения эффективной толщины спейсерного слоя при уменьшении значения $\sigma$ профиля $\delta$-слоев.
Поступила в редакцию: 12.04.2017 Принята в печать: 24.04.2017
Образец цитирования:
Д. Ю. Протасов, А. К. Бакаров, А. И. Торопов, Б. Я. Бер, Д. Ю. Казанцев, К. С. Журавлев, “Подвижность двумерного электронного газа в DA-$p$HEMT гетроструктурах с различной шириной профиля $\delta$–$n$-слоев”, Физика и техника полупроводников, 51:12 (2017), 1696; Semiconductors, 52:1 (2018), 44–52
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts5976 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v51/i12/p1696
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 65 | PDF полного текста: | 11 |
|