Физика и техника полупроводников
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Физика и техника полупроводников:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Физика и техника полупроводников, 2018, том 52, выпуск 2, страницы 196–200
DOI: https://doi.org/10.21883/FTP.2018.02.45443.8685 (Mi phts5916) 		 
Эта публикация цитируется в 7 научных статьях (всего в 7 статьях)

Поверхность, границы раздела, тонкие пленки

Влияние концентрации кислорода в составе газовой плазмообразующей смеси на оптические и структурные свойства пленок нитрида алюминия

Я. В. Лубянскийa, А. Д. Бондаревa, И. П. Сошниковabc, Н. А. Бертa, В. В. Золотаревa, Д. А. Кириленкоa, К. П. Котлярc, Н. А. Пихтинa, И. С. Тарасовa

a Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
b Институт aналитического приборостроения Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
c Санкт-Петербургский национальный исследовательский академический университет Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
PDF полного текста (1001 kB) Список цитирования (7)
DOI: https://doi.org/10.21883/FTP.2018.02.45443.8685
Аннотация: Проводятся исследования влияния содержания кислорода в плазмообразующей среде в процессах синтеза методом реактивного ионно-плазменного распыления на структуру и свойства пленок AlNO (оксинитридов алюминия). Измеренные показатели преломления синтезированных пленок AlNO находятся в диапазоне 1.76–2.035 и зависят от концентрации кислорода в плазмообразующей газовой смеси, а именно с увеличением доли кислорода показатель преломления уменьшается. Показано, что пленки AlN, синтезированные в плазме азота, имеют поликристаллическую текстурированную структуру. Повышение содержания кислорода приводит к образованию аморфной фазы.
Финансовая поддержка Номер гранта
Российский фонд фундаментальных исследований 16-29-03113 офи_м
15-07-06964 А
Российская академия наук - Федеральное агентство научных организаций
Работа выполнена при поддержке РФФИ (гранты 16-29-03113 офи_м, 15-07-06964 А), программы Президиума РАН.
Поступила в редакцию: 11.07.2017
Принята в печать: 19.07.2017
Англоязычная версия:
Semiconductors, 2018, Volume 52, Issue 2, Pages 184–188
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063782618020070
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: Я. В. Лубянский, А. Д. Бондарев, И. П. Сошников, Н. А. Берт, В. В. Золотарев, Д. А. Кириленко, К. П. Котляр, Н. А. Пихтин, И. С. Тарасов, “Влияние концентрации кислорода в составе газовой плазмообразующей смеси на оптические и структурные свойства пленок нитрида алюминия”, Физика и техника полупроводников, 52:2 (2018), 196–200; Semiconductors, 52:2 (2018), 184–188
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{LubBonSot18}
\by Я.~В.~Лубянский, А.~Д.~Бондарев, И.~П.~Сошников, Н.~А.~Берт, В.~В.~Золотарев, Д.~А.~Кириленко, К.~П.~Котляр, Н.~А.~Пихтин, И.~С.~Тарасов
\paper Влияние концентрации кислорода в составе газовой плазмообразующей смеси на оптические и структурные свойства пленок нитрида алюминия
\jour Физика и техника полупроводников
\yr 2018
\vol 52
\issue 2
\pages 196--200
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/phts5916}
\crossref{https://doi.org/10.21883/FTP.2018.02.45443.8685}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=32739661}
\transl
\jour Semiconductors
\yr 2018
\vol 52
\issue 2
\pages 184--188
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063782618020070}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/phts5916
  • https://www.mathnet.ru/rus/phts/v52/i2/p196
    • Эта публикация цитируется в следующих 7 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Физика и техника полупроводников Физика и техника полупроводников
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:49
    PDF полного текста:15
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024