|
Эта публикация цитируется в 4 научных статьях (всего в 4 статьях)
Изготовление, обработка, тестирование материалов и структур
Формирование кристаллических слоев Cu$_{2}$O и ZnO методом магнетронного распыления и их оптическая характеризация
В. Ф. Агекянa, Е. В. Борисовa, А. С. Гудовскихbc, Д. А. Кудряшовb, А. О. Монастыренкоb, А. Ю. Серовa, Н. Г. Философовa a Санкт-Петербургский государственный университет
b Санкт-Петербургский национальный исследовательский академический университет Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
c Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В. И. Ульянова (Ленина)
Аннотация:
Методом магнетронного распыления сформированы пленки оксида меди (I) и оксида цинка толщиной в десятки и сотни нанометров на подложках из кремния и кварцевого стекла. Рост производился при различных температурах подложки и давлениях кислорода в рабочей камере. Образцы пленок исследованы методами рентгеновской дифракции и сканирующей электронной микроскопии и оптическими методами. Установлено, что увеличение температуры подложки приводит к изменению морфологии поверхности пленок оксида меди (I) в сторону образования отчетливо выраженных кристаллитов. Спектры отражения и рамановского рассеяния свидетельствуют о том, что качество таких пленок близко к качеству объемных кристаллов Cu$_{2}$O, полученных методом окисления меди. Что касается ZnO, то повышение температуры подложки и увеличение парциального давления кислорода позволяет получить пленки, в спектрах отражения которых наблюдается резкая экситонная структура, а в спектрах люминесценции – излучение экситонов, связанных на донорах.
Поступила в редакцию: 05.07.2017 Принята в печать: 12.07.2017
Образец цитирования:
В. Ф. Агекян, Е. В. Борисов, А. С. Гудовских, Д. А. Кудряшов, А. О. Монастыренко, А. Ю. Серов, Н. Г. Философов, “Формирование кристаллических слоев Cu$_{2}$O и ZnO методом магнетронного распыления и их оптическая характеризация”, Физика и техника полупроводников, 52:3 (2018), 402–408; Semiconductors, 52:3 (2018), 383–389
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts5905 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v52/i3/p402
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 36 | PDF полного текста: | 27 |
|