Поверхностные наноструктуры, формирующиеся на ранних стадиях металл-стимулированного химического травления кремния. Оптические свойства наночастиц серебра

Работа, состоящая из двух частей, посвящена исследованию наноструктур, формирующихся в 3-стадийном процессе металл-стимулированного химического травления кремния. В первой части исследован процесс химического осаждения слоя самоорганизующихся на поверхности кремниевой пластины наночастиц Ag (первая стадия металл-стимулированного химического травления). Этот слой является, с одной стороны, катализатором для проведения последующего травления кремния, а с другой – служит своеобразной маской для формирования той или иной топологии формирующихся нанонитей Si. С помощью растрового электронного микроскопа исследована морфология слоя наночастиц серебра (толщиной 40–60 нм), а с помощью спектральной эллипсометрии ($\lambda$ = 250–900 нм) измерены спектры эллипсометрических углов нанослоев $\Psi$ и $\Delta$. На основе этих спектров определена комплексная диэлектрическая функция полученного слоя Ag с характерным пиком плазмонного резонанса в УФ-части спектра. Исследования оптических свойств слоев нанонитей Si, формирующихся на ранних стадиях металл-стимулированного химического травления, будут опубликованы во второй части работы (в отдельной статье).