|
Эта публикация цитируется в 2 научных статьях (всего в 2 статьях)
Изготовление, обработка, тестирование материалов и структур
Спектры рамановского рассеяния толстых эпитаксиальных слоев GaN на SiC, полученных сублимационным сандвич-методом
А. Н. Анисимовa, А. А. Вольфсонa, Е. Н. Моховb a Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
b Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики
Аннотация:
Исследованы спектры рамановского рассеяния толстых ($\sim$100 мкм и более) слоев GaN, выращенных на SiC кристаллах-подложках посредством сублимационного сандвич-метода. Хорошее совпадение полученных нами спектров SiC-подложек с приводимыми в литературе свидетельствует о надежности наших измерений, а минимальные различия между нашими и литературными результатами для слоев GaN означают, что по качеству слои, выращенные нами с помощью сублимационного сандвич-метода, не уступают изготовленным методами MOVPE или CHVPE.
Поступила в редакцию: 15.02.2018 Принята в печать: 22.03.2018
Образец цитирования:
А. Н. Анисимов, А. А. Вольфсон, Е. Н. Мохов, “Спектры рамановского рассеяния толстых эпитаксиальных слоев GaN на SiC, полученных сублимационным сандвич-методом”, Физика и техника полупроводников, 52:9 (2018), 1104–1106; Semiconductors, 52:9 (2018), 1225–1227
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts5746 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v52/i9/p1104
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 36 | PDF полного текста: | 12 |
|