Исследование профиля эффективного показателя преломления в самоорганизующихся наноструктурированных пленках ITO

Исследовались оптические характеристики и структурные особенности самоорганизующихся наноструктурированных пленок оксида индия и олова (ITO), нанесенных методом электронно-лучевого испарения на нагретые выше 400$^\circ$C подложки. Оценки профилей распределения вещества и значения эффективного показателя преломления в исследуемых пленках были получены компьютерным моделированием среды, имеющей наиболее близкие к наблюдаемым в эксперименте спектральные зависимости коэффициентов пропускания и отражения света. Полученные результаты находятся в хорошем согласии с данными растровой электронной микроскопии для этих пленок и позволяют не только подтвердить градиентный характер таких покрытий, но и восстановить его некоторые особенности. Дальнейшее заращивание пустот в самоорганизующихся наноструктурированных пленках посредством нанесения дополнительного количества материала методом магнетронного распыления при комнатной температуре приводит к изменению в них профиля эффективного показателя преломления. Таким образом можно создавать прозрачные проводящие покрытия с профилем эффективного показателя преломления, настраиваемым под поставленные задачи. Настройка профиля показателя преломления в самоорганизованных пленках ITO приобретает особое значение для конструирования покрытий с заданными свойствами в силу ограниченного набора прозрачных проводящих материалов.