|
Физика полупроводниковых приборов
Гальванические и емкостные эффекты при компенсации проводимости $n$-SiC радиационными дефектами
В. В. Козловскийa, А. А. Лебедевbc, К. С. Давыдовскаяb, Ю. В. Любимоваd a Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
b Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
c Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В. И. Ульянова (Ленина)
d Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики
Аннотация:
Проведено исследование JBS диодов на основе 4H-SiC, облученных электронами и протонами. Исследования проводились методами вольт-фарадных и вольт-амперных характеристик. Сделан вывод, что при обоих типах облучения происходит образование глубоких центров в верхней половине запрещенной зоны карбида кремния. Это приводит к резкому уменьшению концентрации ионизованных носителей заряда в зоне проводимости и экспоненциальному росту сопротивления базовых областей исследованных структур.
Поступила в редакцию: 15.05.2018 Принята в печать: 21.05.2018
Образец цитирования:
В. В. Козловский, А. А. Лебедев, К. С. Давыдовская, Ю. В. Любимова, “Гальванические и емкостные эффекты при компенсации проводимости $n$-SiC радиационными дефектами”, Физика и техника полупроводников, 52:12 (2018), 1532–1534; Semiconductors, 52:12 (2018), 1635–1637
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts5673 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v52/i12/p1532
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 36 | PDF полного текста: | 16 |
|