|
Эта публикация цитируется в 4 научных статьях (всего в 4 статьях)
Поверхность, границы раздела, тонкие пленки
Влияние плазмохимической модификации поверхности на электронный транспорт и работу выхода в кремниевых кристаллах
Р. К. Яфаров Саратовский филиал Института радиотехники и электроники им. В. А. Котельникова РАН
Аннотация:
Исследованы закономерности модификации поверхности кремниевых кристаллов при СВЧ плазменной микрообработке в различных химически активных газовых средах. Показано, что модификация обусловлена формированием встроенных поверхностных потенциалов, которые в зависимости от типа электропроводности полупроводников различным образом влияют на автоэмиссионные свойства и приповерхностный электронный транспорт в устройствах, изготовленных на их основе.
Поступила в редакцию: 22.01.2018 Исправленный вариант: 21.02.2018
Образец цитирования:
Р. К. Яфаров, “Влияние плазмохимической модификации поверхности на электронный транспорт и работу выхода в кремниевых кристаллах”, Физика и техника полупроводников, 53:1 (2019), 18–25; Semiconductors, 53:1 (2019), 14–21
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts5605 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v53/i1/p18
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 40 | PDF полного текста: | 20 |
|