|
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)
Изготовление, обработка, тестирование материалов и структур
Исследование возможности изготовления напряженных сверхрешеток InAs/GaSb методом газофазной эпитаксии из металлоорганических соединений
Р. В. Левинa, В. Н. Неведомскийa, Н. Л. Баженовa, Г. Г. Зегряa, Б. В. Пушныйa, М. Н. Мизеровb a Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
b Научно-технологический центр микроэлектроники и субмикронных гетероструктур РАН, г. Санкт-Петербург
Аннотация:
Представлены первые результаты исследования возможности изготовления сверхрешеток на основе InAs/GaSb методом газофазной эпитаксии из металлоорганических соединений. Экспериментально показана возможность изготовления гетероструктур с напряженной сверхрешеткой типа InAs/GaSb с толщиной слоев 2–4 нм. В спектрах электролюминесценции структур при 77 K наблюдается длинноволновый пик в районе 5 мкм (0.25 эВ), вероятно, связанный с напряженной сверхрешеткой, так как твердые растворы, которые могли бы образоваться на основе составных соединений, не обеспечивают полученную энергию рекомбинации носителей.
Поступила в редакцию: 03.07.2018 Исправленный вариант: 16.07.2018
Образец цитирования:
Р. В. Левин, В. Н. Неведомский, Н. Л. Баженов, Г. Г. Зегря, Б. В. Пушный, М. Н. Мизеров, “Исследование возможности изготовления напряженных сверхрешеток InAs/GaSb методом газофазной эпитаксии из металлоорганических соединений”, Физика и техника полупроводников, 53:2 (2019), 273–276; Semiconductors, 53:2 (2019), 260–263
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts5600 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v53/i2/p273
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 39 | PDF полного текста: | 15 |
|