Оптические и структурные свойства наноструктур Ag и $c$-Si, формирующихся в процессе металл-стимулированного химического травления кремния

Работа, состоящая из двух частей, посвящена изучению особенностей трeхстадийного процесса металл-стимулированного химического травления кремния (МCХТ), используемого для получения кремниевых нанонитей. Ранее нами было проведено исследование слоя самоорганизующихся наночастиц серебра, осаждаемых химическим методом из раствора на поверхности монокристаллического кремния ($c$-Si) (стадия 1 МСХТ), а в настоящей работе – наноструктур Si, формируемых на стадиях 2 и 3. С помощью спектральной эллипсометрии (длины волн $\lambda$ = 250–900 нм) определены псевдодиэлектрические функции наноструктур и проведено их сопоставление для всех трех стадий процесса МСХТ. Кроме того, для наноструктур Si вычислены параметры слоев (толщина и доля пустот) в многослойной оптической модели с использованием приближения эффективной среды Бруггемана и подгоночных процедур.