|
Поверхность, границы раздела, тонкие пленки
Влияние электромиграции на зарождение вакансионных островков на поверхности Si(100) при сублимации
С. В. Ситниковa, Е. Е. Родякинаab, А. В. Латышевab a Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, г. Новосибирск
b Новосибирский государственный университет
Аннотация:
С применением метода in situ сверхвысоковакуумной отражательной электронной микроскопии исследован процесс зарождения вакансионных островков на широких террасах поверхности Si(100). Определена температурная зависимость смещения центра зарождения вакансионного островка при нагреве образца постоянным электрическим током. На основе теоретической модели проведена оценка эффективного электрического заряда аддимеров в направлении поперек димерных рядов атомов поверхности. Эффективный заряд имеет положительный знак и не превышает 15 единиц элементарного заряда в температурном интервале 1020–1120$^\circ$С.
Поступила в редакцию: 10.12.2018 Исправленный вариант: 09.01.2019 Принята в печать: 23.01.2019
Образец цитирования:
С. В. Ситников, Е. Е. Родякина, А. В. Латышев, “Влияние электромиграции на зарождение вакансионных островков на поверхности Si(100) при сублимации”, Физика и техника полупроводников, 53:6 (2019), 805–809; Semiconductors, 53:6 (2019), 795–799
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts5487 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v53/i6/p805
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 58 | PDF полного текста: | 16 |
|