|
Эта публикация цитируется в 5 научных статьях (всего в 5 статьях)
XVI Международная конференция ''Термоэлектрики и их применения" - 2018 (ISCTA 2018), Санкт-Петербург, 8-12 октября 2018 г.
Структура и термоэлектрические свойства пленочных композитов на основе CoSi
В. С. Кузнецоваa, С. В. Новиковa, Ч. К. Ниченаметлаb, И. Кальвоb, М. Вагнер-Ритцb a Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
b Институт Фраунгофера фотоники микросистем – Центр технологий наноэлектроники, Германия, Дрезден,
Аннотация:
Изучаются свойства тонких пленок Co–Si, полученных методом термического спекания слоев Co и Si. Слои Co и Si были получены методом химического осаждения паров. Для образования силицида кобальта полученная двухслойная структура отжигалась при температуре 760 K в течение 12 ч. Термоэлектрические свойства пленочных структуру были исследованы в интервале температур 300–800 K. Температурные зависимости термоэдс (thermopower) и удельного сопротивления, а также структурные данные указывают на образование многослойной структуры, содержащей слои с избытком кремния и кобальта.
Поступила в редакцию: 07.02.2019 Исправленный вариант: 10.02.2019 Принята в печать: 14.02.2019
Образец цитирования:
В. С. Кузнецова, С. В. Новиков, Ч. К. Ниченаметла, И. Кальво, М. Вагнер-Ритц, “Структура и термоэлектрические свойства пленочных композитов на основе CoSi”, Физика и техника полупроводников, 53:6 (2019), 784–788; Semiconductors, 53:6 (2019), 775–779
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts5483 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v53/i6/p784
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 39 | PDF полного текста: | 13 |
|