Структура и термоэлектрические свойства пленочных композитов на основе CoSi

Изучаются свойства тонких пленок Co–Si, полученных методом термического спекания слоев Co и Si. Слои Co и Si были получены методом химического осаждения паров. Для образования силицида кобальта полученная двухслойная структура отжигалась при температуре 760 K в течение 12 ч. Термоэлектрические свойства пленочных структуру были исследованы в интервале температур 300–800 K. Температурные зависимости термоэдс (thermopower) и удельного сопротивления, а также структурные данные указывают на образование многослойной структуры, содержащей слои с избытком кремния и кобальта.