Зависимость проводимости слоев пористого кремния от направления переноса носителей заряда

Представлено исследование механизмов переноса носителей заряда в слоях мезопористого кремния для случаев переноса вдоль поверхности слоя (перпендикулярно кремниевым колоннам) и перпендикулярно поверхности слоя (вдоль кремниевых колонн). Установлено, что проводимость, измеряемая вдоль поверхности слоя, значительно ниже проводимости, измеряемой перпендикулярно поверхности. Из анализа температурных и частотных зависимостей проводимости сделан вывод о различных механизмах переноса носителей заряда в рассматриваемых случаях (вдоль и перпендикулярно поверхности).