|
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)
Поверхность, границы раздела, тонкие пленки
Изопараметрические гетероструктуры AlInGaAsP/InP и их свойства
Д. Л. Алфимова, Л. С. Лунин, М. Л. Лунина, А. С. Пащенко, Э. М. Данилина Федеральный исследовательский центр Южный научный центр Российской академии наук, Ростов-на-Дону, Россия
Аннотация:
Обсуждается влияние условий выращивания на структурное совершенство тонкопленочных гетероструктур AlInGaAsP/InP. Определены основные параметры, определяющие структурное совершенство и качество поверхности тонких эпитаксиальных пленок AlInGaAsP, выращенных на подложках фосфида индия из жидкой фазы в поле температурного градиента.
Ключевые слова:
гетероструктуры, коэффициент термического расширения, кривая дифракционного отражения, упругие напряжения, дислокации.
Поступила в редакцию: 17.12.2018 Исправленный вариант: 25.01.2019 Принята в печать: 30.01.2019
Образец цитирования:
Д. Л. Алфимова, Л. С. Лунин, М. Л. Лунина, А. С. Пащенко, Э. М. Данилина, “Изопараметрические гетероструктуры AlInGaAsP/InP и их свойства”, Физика и техника полупроводников, 53:7 (2019), 903–907; Semiconductors, 53:7 (2019), 887–891
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts5453 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v53/i7/p903
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 39 | PDF полного текста: | 14 |
|