|
Эта публикация цитируется в 3 научных статьях (всего в 3 статьях)
Полупроводниковые структуры, низкоразмерные системы, квантовые явления
Темплатный синтез монодисперсных сферических нанопористых частиц кремния субмикронного размера
Д. А. Курдюков, Н. А. Феоктистов, Д. А. Кириленко, А. Н. Смирнов, В. Ю. Давыдов, В. Г. Голубев Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
Аннотация:
Получены субмикронные монодисперсные сферические нанопористые частицы кремния с использованием мезопористых частиц кремнезема в качестве темплата. Кремний синтезирован в порах монодисперсных частиц кремнезема путем термического разложения моносилана, затем темплат ($a$-SiO$_{2}$) удален методом жидкостного химического травления. Частицы имеют низкое среднеквадратичное отклонение размеров (не более 10%), обладают большими удельной поверхностью (250 м$^{2}$/г) и объемом пор (0.5 cм$^{3}$/г). Продемонстрировано, что полученные частицы люминесцируют в видимом и ближнем ИК спектральных диапазонах.
Ключевые слова:
темплатный синтез, кремний, силан, монодисперсные мезопористые частицы.
Поступила в редакцию: 26.03.2019 Исправленный вариант: 01.04.2019 Принята в печать: 01.04.2019
Образец цитирования:
Д. А. Курдюков, Н. А. Феоктистов, Д. А. Кириленко, А. Н. Смирнов, В. Ю. Давыдов, В. Г. Голубев, “Темплатный синтез монодисперсных сферических нанопористых частиц кремния субмикронного размера”, Физика и техника полупроводников, 53:8 (2019), 1068–1073; Semiconductors, 53:8 (2019), 1048–1053
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts5431 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v53/i8/p1068
|
|