|
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)
Поверхность, границы раздела, тонкие пленки
Наноструктурированные покрытия ITO/SiO$_{2}$
Л. К. Марков, А. С. Павлюченко, И. П. Смирнова Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
Аннотация:
В настоящей работе изучалось влияние слоя SiO$_{2}$, нанесенного на наноструктурированные прозрачные проводящие пленки оксида индия и олова (ITO), на их оптические характеристики. Для этого на образцы с пленками ITO, содержащими нитевидные кристаллы преимущественно вертикальной ориентации и обладающими монотонно убывающим эффективным показателем преломления, наносили слои SiO$_{2}$ различной толщины методом магнетронного распыления. Показано, что при условии равномерного заращивания нитей ITO слоем SiO$_{2}$ становится возможным достичь заметного просветления покрытия. Исследовалось также влияние слоя SiO$_{2}$ на оптические характеристики плотной, неструктурированной пленки ITO. Проведено сравнение полученных результатов для структурированного и неструктурированного покрытия ITO/SiO$_{2}$ с одинаковым массовым содержанием материала. Отмечено, что вследствие склонности материала ITO к деградации в процессе эксплуатации в составе прозрачных проводящих контактов результаты работы могут быть интересны также для создания более стойких к воздействию внешней среды покрытий.
Ключевые слова:
прозрачные проводящие оксиды, оптоэлектронные приборы, просветвляющие покрытия, оксид индия и олова, диоксид кремния.
Поступила в редакцию: 10.04.2019 Исправленный вариант: 15.04.2019 Принята в печать: 15.04.2019
Образец цитирования:
Л. К. Марков, А. С. Павлюченко, И. П. Смирнова, “Наноструктурированные покрытия ITO/SiO$_{2}$”, Физика и техника полупроводников, 53:8 (2019), 1052–1057; Semiconductors, 53:8 (2019), 1033–1037
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts5428 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v53/i8/p1052
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 37 | PDF полного текста: | 35 |
|