|
Эта публикация цитируется в 5 научных статьях (всего в 5 статьях)
Спектроскопия, взаимодействие с излучениями
Люминесцентные свойства высокоомного кремния, облученного тяжелыми ионами высоких энергий
С. Г. Черковаa, В. А. Скуратовbcd, В. А. Володинae a Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, г. Новосибирск
b Объединенный институт ядерных исследований, г. Дубна Московской обл.
c Государственный университет "Дубна", г. Дубна, Московская обл.
d Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", г. Москва
e Новосибирский государственный университет
Аннотация:
Исследованы оптические свойства высокоомного кремния, облученного тяжелыми ионами высоких энергий. В спектрах фотолюминесценции при низких температурах, помимо известных линий от X, W, W', R и C линий, проявляется широкий пик в области 1.3–1.5 мкм. При этом с увеличением дозы облучения в диапазоне 3$\cdot$10$^{11}$–10$^{13}$ см$^{-2}$ наблюдается спад и сужение пика ФЛ с одновременным смещением максимума в длинноволновую область.
Ключевые слова:
фотолюминесценция, дефекты в кремнии, быстрые тяжелые ионы.
Поступила в редакцию: 16.04.2019 Исправленный вариант: 15.05.2019 Принята в печать: 17.06.2019
Образец цитирования:
С. Г. Черкова, В. А. Скуратов, В. А. Володин, “Люминесцентные свойства высокоомного кремния, облученного тяжелыми ионами высоких энергий”, Физика и техника полупроводников, 53:11 (2019), 1467–1470; Semiconductors, 53:11 (2019), 1427–1430
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts5350 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v53/i11/p1467
|
|