|
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)
Изготовление, обработка, тестирование материалов и структур
Применение высокочастотной ЭПР спектроскопии для идентификации и разделения позиций азота и ванадия в кристаллах и гетероструктурах карбида кремния
Е. В. Единач, А. Д. Криворучко, А. С. Гурин, М. В. Музафарова, И. В. Ильин, Р. А. Бабунц, Н. Г. Романов, А. Г. Бадалян, П. Г. Баранов Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
Аннотация:
Показано преимущество высокочастотной спектроскопии электронного парамагнитного резонанса для идентификации доноров азота и глубокой компенсирующей примеси ванадия в различных кристаллографических позициях кристалла карбида кремния. Измерения были выполнены на спектрометре электронного парамагнитного резонанса нового поколения, работающем как в непрерывном, так и в импульсном режимах на частотах 94 и 130 ГГц в широком интервале магнитных полей (-7–7 Тл) и температур (1.5–300 K) с применением магнитооптического криостата замкнутого цикла (Spectormag PT), высокостабильных генераторов (94 и 130 ГГц) и безрезонаторной системы подачи микроволновой мощности на образец.
Ключевые слова:
электронный парамагнитный резонанс, электронное спиновое эхо, полупроводники, карбид кремния, донорные примеси.
Поступила в редакцию: 02.08.2019 Исправленный вариант: 12.08.2019 Принята в печать: 12.08.2019
Образец цитирования:
Е. В. Единач, А. Д. Криворучко, А. С. Гурин, М. В. Музафарова, И. В. Ильин, Р. А. Бабунц, Н. Г. Романов, А. Г. Бадалян, П. Г. Баранов, “Применение высокочастотной ЭПР спектроскопии для идентификации и разделения позиций азота и ванадия в кристаллах и гетероструктурах карбида кремния”, Физика и техника полупроводников, 54:1 (2020), 103–110; Semiconductors, 54:1 (2020), 150–156
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts5316 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v54/i1/p103
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 52 | PDF полного текста: | 24 |
|