Физика и техника полупроводников
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Физика и техника полупроводников:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Физика и техника полупроводников, 2020, том 54, выпуск 1, страницы 74–78
DOI: https://doi.org/10.21883/FTP.2020.01.48778.9245 (Mi phts5310) 		 
Физика полупроводниковых приборов

Температурная зависимость потерь в механическом резонаторе, изготовленном методом прямого сращивания кремниевых пластин

Л. Г. Прохоровa, А. В. Светаевa, Б. С. Лунинb, Н. Р. Запотылькоc, А. А. Катковc, В. П. Митрофановa

a Физический факультет, Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова
b Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова, химический факультет
c Научно-исследовательский институт "Полюс" им. М. Ф. Стельмаха, г. Москва
PDF полного текста (162 kB)
DOI: https://doi.org/10.21883/FTP.2020.01.48778.9245
Аннотация: Охлаждение устройств, изготовленных из монокристаллического кремния, до температуры 123 K, при которой значение его коэффициента теплового расширения проходит через нуль, позволяет повысить их стабильность и снизить шумы. В диапазоне температур (100–295 K) исследованы температурные зависимости потерь (затухания) и изменения резонансной частоты в механическом резонаторе камертонного типа, изготовленном из кремниевых полосок и соединенных методом прямого сращивания. Это позволяет неразрушающим образом контролировать качество соединения, а также выявить особенности поведения и изменения, происходящие на границе раздела с течением времени.
Ключевые слова: кремниевая пластина, прямое сращивание, механический резонатор, нулевое значение коэффициента линейного теплового расширения.
Финансовая поддержка Номер гранта
Российский научный фонд 17-12-01095
Работа выполнена при поддержке гранта РНФ № 17-12-01095.
Поступила в редакцию: 19.08.2019
Исправленный вариант: 05.09.2019
Принята в печать: 10.09.2019
Англоязычная версия:
Semiconductors, 2020, Volume 54, Issue 1, Pages 117–121
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063782620010200
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: Л. Г. Прохоров, А. В. Светаев, Б. С. Лунин, Н. Р. Запотылько, А. А. Катков, В. П. Митрофанов, “Температурная зависимость потерь в механическом резонаторе, изготовленном методом прямого сращивания кремниевых пластин”, Физика и техника полупроводников, 54:1 (2020), 74–78; Semiconductors, 54:1 (2020), 117–121
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{ProSveLun20}
\by Л.~Г.~Прохоров, А.~В.~Светаев, Б.~С.~Лунин, Н.~Р.~Запотылько, А.~А.~Катков, В.~П.~Митрофанов
\paper Температурная зависимость потерь в механическом резонаторе, изготовленном методом прямого сращивания кремниевых пластин
\jour Физика и техника полупроводников
\yr 2020
\vol 54
\issue 1
\pages 74--78
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/phts5310}
\crossref{https://doi.org/10.21883/FTP.2020.01.48778.9245}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=42571074}
\transl
\jour Semiconductors
\yr 2020
\vol 54
\issue 1
\pages 117--121
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063782620010200}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/phts5310
  • https://www.mathnet.ru/rus/phts/v54/i1/p74
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Физика и техника полупроводников Физика и техника полупроводников
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:47
    PDF полного текста:50
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024