|
Эта публикация цитируется в 2 научных статьях (всего в 2 статьях)
Изготовление, обработка, тестирование материалов и структур
Расчет доз аморфизации кремния при облучении легкими ионами средних энергий
Е. В. Окуличa, В. И. Окуличb, Д. И. Тетельбаумa a Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского
b Нижегородский институт управления – филиал Российской академии народного хозяйства и государственной службы при Президенте Российской Федерации, Нижний Новгород, Россия
Аннотация:
На основе ранее предложенной диффузионно-коагуляционной модели дефектообразования при ионном облучении кремния путем численного решения соответствующих кинетических уравнений рассчитаны дозы аморфизации $(\Phi_{\mathrm{am}}$) для ионов средних энергий с массой $M_{1}\le$ 31 а.е.м. Предполагается, что аморфизация на данной глубине происходит при дозе, при которой достигается некоторая пороговая величина суммарной концентрации вакансий и дивакансий $(C_{\mathrm{am}})$. Варьируемыми параметрами при расчетах являлись: энергия ионов, плотность ионного тока, температура, а также пороговая энергия смещения атома $(E_{d})$ и $C_{\mathrm{am}}$. Определены границы примененимости диффузионно-коагуляционной модели. Сравнение полученных результатов расчетов, проведенных в этих границах, с опубликованными экспериментальными данными показало (с учетом вариации экспериментальных данных и определенной свободы выбора параметров $E_{d}$ и $C_{\mathrm{am}}$) удовлетворительное соответствие расчетных и экспериментальных значений $\Phi_{\mathrm{am}}$.
Ключевые слова:
кремний, облучение легкими ионами, диффузионно-коагуляционная модель дефектообразования, расчет доз аморфизации.
Поступила в редакцию: 19.12.2019 Исправленный вариант: 14.01.2020 Принята в печать: 14.01.2020
Образец цитирования:
Е. В. Окулич, В. И. Окулич, Д. И. Тетельбаум, “Расчет доз аморфизации кремния при облучении легкими ионами средних энергий”, Физика и техника полупроводников, 54:8 (2020), 771–777; Semiconductors, 54:8 (2020), 916–922
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts5194 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v54/i8/p771
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 53 | PDF полного текста: | 14 |
|