|
Эта публикация цитируется в 4 научных статьях (всего в 4 статьях)
Изготовление, обработка, тестирование материалов и структур
Взаимодействие фторуглерода с моноокисью кремния и процессы образования нанонитей SiC
Е. В. Астрова, В. П. Улин, А. В. Парфеньева, А. В. Нащекин, В. Н. Неведомский, М. В. Байдакова Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
Аннотация:
При изучении процессов термической карбонизации моноокиси кремния в присутствии нестехиометрического монофторида углерода было обнаружено, что повышение температуры отжига смесей порошков SiO и CF$_{x}$ в квазизамкнутом объеме до 1000$^\circ$С и выше ведет к выделению нитевидных нанокристаллов SiC. Проведенные исследования показали, что параллельно с известным процессом кристаллизации нанонитей SiC в результате взаимодействия паров SiO с угарным газом в их образовании принимает участие неописанное ранее взаимодействие СО с газофазным дифторидом кремния SiF$_{2}$. При температурах ниже 1200$^\circ$С эта реакция оказывается доминирующей, давая наибольший вклад в выход нанонитей SiC.
Ключевые слова:
образование нанонитей (вискеров) карбида кремния, моноокись кремния, фторуглерод, газофазный дифторид кремния.
Поступила в редакцию: 06.04.2020 Исправленный вариант: 12.04.2020 Принята в печать: 12.04.2020
Образец цитирования:
Е. В. Астрова, В. П. Улин, А. В. Парфеньева, А. В. Нащекин, В. Н. Неведомский, М. В. Байдакова, “Взаимодействие фторуглерода с моноокисью кремния и процессы образования нанонитей SiC”, Физика и техника полупроводников, 54:8 (2020), 753–765; Semiconductors, 54:8 (2020), 900–911
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts5192 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v54/i8/p753
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 49 | PDF полного текста: | 22 |
|