Влияние морфологии поверхности микрополосковой линии СВЧ на ее передаточные характеристики

Определены основные морфологические параметры 50-омных Au/$i$-GaAs$\{100\}$ тонкопленочных микрополосковых золотых СВЧ копланарных линий передач длиной $l_{W}$, влияющие на активное сопротивление их скин-слоя $R$ и индуктивность $L$. Получено, что латеральный характер распределения зерен и развитый рельеф их поверхностей приводит к возникновению дополнительных процессов рассеяния электронов как на границах зерен, так и на неоднородностях рельефа. Малый размер зерен, $d_{x}<$ 133 нм, на частотах $f>$10 ГГц переводит аномальный скин-эффект в нормальный. При этом нелинейная зависимость $R$ от $l_{W}$ в локальном приближении обеспечивается фрактальной геометрией рельефа поверхности и приповерхностной области копланарных линий передач, а нелинейная зависимость индуктивности $L$ от $l_{W}$ – не только фрактальными особенностями рельефа двухмерной поверхности копланарных линий передач, но и фрактальными особенностями трехмерного распределения ее зерен.