|
Эта публикация цитируется в 5 научных статьях (всего в 5 статьях)
Микро- и нанокристаллические, пористые, композитные полупроводники
Синтез наночастиц карбида кремния методом лазерного пиролиза смеси моносилана и ацетилена
И. А. Ершов, Л. Д. Исхакова, В. И. Красовский, Ф. О. Милович, С. И. Расмагин, В. И. Пустовой Институт общей физики им. А.М. Прохорова Российской академии наук, г. Москва
Аннотация:
Определены условия лазерно-стимулированной реакции синтеза наночастиц карбида кремния и проведена их характеризация. Реакция лазерного синтеза частиц SiC в газовой фазе наблюдалась при соотношении потоков SiH$_{4}$/C$_{2}$H$_{2}$ в интервале 1.6–3.2. Температура в области зоны реакции составила $\sim$1400–1500$^\circ$C. Получены наночастицы карбида кремния диаметром $\sim$6 нм и исследован их состав.
Ключевые слова:
наночастицы карбида кремния, спиновое состояние, лазерный пиролиз, синтез наночастиц.
Поступила в редакцию: 29.06.2020 Исправленный вариант: 14.07.2020 Принята в печать: 14.07.2020
Образец цитирования:
И. А. Ершов, Л. Д. Исхакова, В. И. Красовский, Ф. О. Милович, С. И. Расмагин, В. И. Пустовой, “Синтез наночастиц карбида кремния методом лазерного пиролиза смеси моносилана и ацетилена”, Физика и техника полупроводников, 54:11 (2020), 1233–1237; Semiconductors, 54:11 (2020), 1467–1471
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts5125 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v54/i11/p1233
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 59 | PDF полного текста: | 27 |
|