|
Эта публикация цитируется в 3 научных статьях (всего в 3 статьях)
Поверхность, границы раздела, тонкие пленки
Si-легированные эпитаксиальные пленки на подложках GaAs(110): морфология поверхности, электрофизические характеристики, спектры фотолюминесценции
Г. Б. Галиевa, Е. А. Климовa, С. С. Пушкаревa, А. А. Зайцевb, А. Н. Клочковc a Институт сверхвысокочастотной полупроводниковой электроники им. В. Г. Мокерова РАН, г. Москва
b Национальный исследовательский университет "МИЭТ"
c Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ»
Аннотация:
Представлены результаты исследований морфологии поверхности, электрофизических характеристик и фотолюминесцентных свойств эпитаксиальных плeнок GaAs, выращенных методом молекулярно-лучевой эпитаксии на подложках GaAs (110) и легированных кремнием. Серия исследуемых образцов была выращена при температуре 580$^\circ$С при отношении парциальных давлений мышьяка и галлия в диапазоне от 14 до 80. С помощью анализа спектров фотолюминесценции выращенных образцов интерпретировано поведение атомов кремния в GaAs с учeтом занятия ими узлов Ga или As (т. е. возникновение точечных дефектов Si$_{\mathrm{Ga}}$ и Si$_{\mathrm{As}}$), а также образования вакансий мышьяка и галлия $V_{\mathrm{As}}$ и $V_{\mathrm{Ga}}$. При анализе спектры фотолюминесценции образцов на (110)-ориентированных подложках сравнивались со спектрами фотолюминесценции аналогичных образцов на (100)- и (111)A-ориентированных подложках.
Ключевые слова:
cпектроскопия фотолюминесценции, молекулярно-лучевая эпитаксия, GaAs, ориентация подложки (110), ориентация подложки (111)А, атомно-силовая микроскопия.
Поступила в редакцию: 06.07.2020 Исправленный вариант: 13.07.2020 Принята в печать: 13.07.2020
Образец цитирования:
Г. Б. Галиев, Е. А. Климов, С. С. Пушкарев, А. А. Зайцев, А. Н. Клочков, “Si-легированные эпитаксиальные пленки на подложках GaAs(110): морфология поверхности, электрофизические характеристики, спектры фотолюминесценции”, Физика и техника полупроводников, 54:11 (2020), 1203–1210; Semiconductors, 54:11 (2020), 1417–1423
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts5121 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v54/i11/p1203
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 41 | PDF полного текста: | 26 |
|