|
Эта публикация цитируется в 9 научных статьях (всего в 9 статьях)
Поверхность, границы раздела, тонкие пленки
Влияние природы подложки на состав пленок CdPbS и механические напряжения на интерфейсе “пленка–подложка”
Л. Н. Маскаеваa, А. В. Поздинa, В. Ф. Марковab, В. И. Воронинc a Уральский федеральный университет им. первого Президента России Б. Н. Ельцина, г. Екатеринбург
b Уральский институт государственной противопожарной службы МЧС России
c Институт физики металлов им. М.Н. Михеева УрО РАН, г. Екатеринбург
Аннотация:
Исследована роль подложки различной природы на фазовый состав, морфологию и механические напряжения на интерфейсе “пленка–подложка” при химическом осаждении слоев CdPbS на кремнии (111), ситалле, плавленом кварце, ITO-покрытии, предметном и пористом стеклах. Высказано предположение, что выявленные особенности связаны с различными условиями зарождения и роста пленок. Установлено, что на плавленом кварце формируется однофазная пленка твердого раствора Cd$_{x}$Pb$_{1-x}$S в отличие от остальных субстратов, на которых осаждаются слои, содержащие дополнительно от 2 до 8 мол% рентгеноаморфной фазы CdS. Показано, что увеличение величины механических напряжений сжатия на интерфейсе “пленка–подложка” с -9.32 до -121.79 кН/м$^{2}$ в ряду пористое стекло–предметное стекло–ситалл–кремний (111)–плавленый кварц асимбатно значениям температурных коэффициентов расширения этих подложечных материалов.
Ключевые слова:
химическое осаждение, тонкие пленки, твердые растворы Cd$_{x}$Pb$_{1-x}$S, механические напряжения сжатия.
Поступила в редакцию: 17.08.2020 Исправленный вариант: 24.08.2020 Принята в печать: 24.08.2020
Образец цитирования:
Л. Н. Маскаева, А. В. Поздин, В. Ф. Марков, В. И. Воронин, “Влияние природы подложки на состав пленок CdPbS и механические напряжения на интерфейсе “пленка–подложка””, Физика и техника полупроводников, 54:12 (2020), 1309–1319; Semiconductors, 54:12 (2020), 1567–1576
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts5105 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v54/i12/p1309
|
|