|
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)
Микро- и нанокристаллические, пористые, композитные полупроводники
Свойства структуры и оптических фононов в нанокристаллах InSb, синтезированных в Si и SiO$_{2}$
И. Е. Тысченкоa, Ж. Чжанb a Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, Новосибирск, Россия
b Новосибирский государственный университет, Новосибирск, Россия
Аннотация:
Интерес к созданию и изучению нанокристаллов InSb на основе кремния обусловлен необходимостью создания гибридных интегральных схем, объединяющих в себе элементы с различными функциональными свойствами. Локализация оптических фононов в кристаллах с пониженной размерностью может оказывать влияние как на оптические, так и на электрические свойства этих кристаллов. В данной работе проведен сравнительный анализ свойств оптических фононов в нанокристаллах InSb, ионно-синтезированных в решетке Si, а также в нанокристаллах InSb в пленках SiO$_{2}$, созданных методами ионно-лучевого синтеза и радиочастотного магнетронного распыления. Свойства оптических фононов в нанокристаллах InSb объяснены с точки зрения влияния структурных свойств окружающей матрицы.
Ключевые слова:
InSb, кремний, оксид кремния, нанокристаллы, синтез.
Поступила в редакцию: 04.06.2020 Исправленный вариант: 07.09.2020 Принята в печать: 18.09.2020
Образец цитирования:
И. Е. Тысченко, Ж. Чжан, “Свойства структуры и оптических фононов в нанокристаллах InSb, синтезированных в Si и SiO$_{2}$”, Физика и техника полупроводников, 55:1 (2021), 59–68; Semiconductors, 55:1 (2021), 76–85
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts5097 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v55/i1/p59
|
|