Физика и техника полупроводников
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Физика и техника полупроводников:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Физика и техника полупроводников, 2021, том 55, выпуск 1, страницы 49–58
DOI: https://doi.org/10.21883/FTP.2021.01.50387.9520 (Mi phts5096) 		 
Эта публикация цитируется в 3 научных статьях (всего в 3 статьях)

Микро- и нанокристаллические, пористые, композитные полупроводники

Исследование нелегированных нанокристаллических алмазных пленок, выращенных из газовой фазы в плазме СВЧ разряда

А. Л. Вихаревa, С. А. Богдановa, Н. М. Овечкинa, О. А. Ивановa, Д. Б. Радищевa, А. М. Горбачевa, М. А. Лобаевa, А. Я. Вульb, А. Т. Дидейкинb, С. А. Краевa, С. А. Королевa

a Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики Российской академии наук, 603950 Нижний Новгород, Россия
b Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
PDF полного текста (1700 kB) Список цитирования (3)
DOI: https://doi.org/10.21883/FTP.2021.01.50387.9520
Аннотация: Исследованы нелегированные нанокристаллические алмазные пленки толщиной менее одного мкм, выращенные на кремнии Si(100) методом плазмохимического осаждения из газовой фазы в плазме, поддерживаемой СВЧ излучением на частоте 2.45 ГГц. Для получения алмазных диэлектрических пленок с максимальным удельным сопротивлением было исследовано осаждение пленок в трех газовых смесях: водород-метановой смеси, в водород-метановой смеси с добавкой кислорода и в водород-метановой смеси с добавкой инертного газа. Установлена связь между условиями роста, структурными и электрическими свойствами нанокристаллических алмазных пленок. Показано, что для применения нанокристаллических алмазных пленок в качестве эффективных диэлектриков необходим предварительный высокотемпературный отжиг пленок, например, в вакууме при температуре 600$^\circ$С в течение одного часа.
Ключевые слова: нанокристаллический алмаз, тонкие алмазные пленки, электрические свойства пленок.
Финансовая поддержка Номер гранта
Министерство образования и науки Российской Федерации 0035-2019-0003
Работа выполнена в рамках государственного задания Федерального исследовательского центра Институт прикладной физики Российской академии наук, проект № 0035-2019-0003.
Поступила в редакцию: 03.09.2020
Исправленный вариант: 10.09.2020
Принята в печать: 10.09.2020
Англоязычная версия:
Semiconductors, 2021, Volume 55, Issue 1, Pages 66–75
DOI: https://doi.org/10.1134/S106378262101019X
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: А. Л. Вихарев, С. А. Богданов, Н. М. Овечкин, О. А. Иванов, Д. Б. Радищев, А. М. Горбачев, М. А. Лобаев, А. Я. Вуль, А. Т. Дидейкин, С. А. Краев, С. А. Королев, “Исследование нелегированных нанокристаллических алмазных пленок, выращенных из газовой фазы в плазме СВЧ разряда”, Физика и техника полупроводников, 55:1 (2021), 49–58; Semiconductors, 55:1 (2021), 66–75
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{VikBogOve21}
\by А.~Л.~Вихарев, С.~А.~Богданов, Н.~М.~Овечкин, О.~А.~Иванов, Д.~Б.~Радищев, А.~М.~Горбачев, М.~А.~Лобаев, А.~Я.~Вуль, А.~Т.~Дидейкин, С.~А.~Краев, С.~А.~Королев
\paper Исследование нелегированных нанокристаллических алмазных пленок, выращенных из газовой фазы в плазме СВЧ разряда
\jour Физика и техника полупроводников
\yr 2021
\vol 55
\issue 1
\pages 49--58
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/phts5096}
\crossref{https://doi.org/10.21883/FTP.2021.01.50387.9520}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=44862605}
\transl
\jour Semiconductors
\yr 2021
\vol 55
\issue 1
\pages 66--75
\crossref{https://doi.org/10.1134/S106378262101019X}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/phts5096
  • https://www.mathnet.ru/rus/phts/v55/i1/p49
    • Эта публикация цитируется в следующих 3 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Физика и техника полупроводников Физика и техника полупроводников
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:71
    PDF полного текста:21
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024