|
Поверхность, границы раздела, тонкие пленки
Тонкопленочные барорезисторы на основе твердых растворов Sm$_{1-x}$Gd$_{x}$S
В. В. Каминскийa, С. М. Соловьевa, Н. Н. Степановa, Г. А. Каменскаяa, Г. Д. Хавровab, С. Е. Александровb a Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
b Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Санкт-Петербург, Россия
Аннотация:
Исследовано влияние концентрации Gd на температурный и барический коэффициенты электросопротивления тонких поликристаллических пленок твердых растворов системы Sm$_{1-x}$Gd$_{x}$S, где $x$ = 0, 0.05, 0.1, 0.2, 0.33 и 0.5. Пленки изготовлены методом взрывного испарения в вакууме порошков исходных соединений и седиментацией последних из газовой фазы на стеклянные подложки. Получены зависимости температурного $\alpha$ и барического $\beta$ коэффициентов электросопротивления, а также их отношения $\gamma$ от концентрации $x$ Gd в системе твердых растворов SmS–GdS, на основании которых определены оптимальные составы для изготовления тонкопленочных тензо- и барорезисторов.
Ключевые слова:
тензо- и барорезистор, содержание Sm и Gd, моносульфид самария, температурный и барический коэффициенты электросопротивления.
Поступила в редакцию: 01.06.2020 Исправленный вариант: 07.09.2020 Принята в печать: 14.09.2020
Образец цитирования:
В. В. Каминский, С. М. Соловьев, Н. Н. Степанов, Г. А. Каменская, Г. Д. Хавров, С. Е. Александров, “Тонкопленочные барорезисторы на основе твердых растворов Sm$_{1-x}$Gd$_{x}$S”, Физика и техника полупроводников, 55:1 (2021), 28–31; Semiconductors, 55:1 (2021), 25–27
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts5093 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v55/i1/p28
|
|