Физика и техника полупроводников
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Физика и техника полупроводников:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Физика и техника полупроводников, 2021, том 55, выпуск 3, страницы 286–288
DOI: https://doi.org/10.21883/FTP.2021.03.50611.9385 (Mi phts5071) 		 
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)

Изготовление, обработка, тестирование материалов и структур

Электроосаждение металлов на $p$-Si из водных электролитов

В. Н. Горяева, Р. А. Бисенгалиев

Калмыцкий государственный университет имени Б. Б. Городовикова, 358000 Элиста, Россия
PDF полного текста (76 kB) Список цитирования (1)
DOI: https://doi.org/10.21883/FTP.2021.03.50611.9385
Аннотация: Представлены особенности электрохимического осаждения металлических покрытий на $p$-Si и измерены свойства полученных металлических слоев. Исследована зависимость толщины обедненной области и внутреннего падения напряжения в ней от состава электролита и типа осаждаемого металла. Доказано влияние на свойства осадков, плотность тока и состав электролитов. Подбором предварительной обработки электролита и режима осаждения получены осадки металлов с приемлемой адгезией и малым продольным сопротивлением.
Ключевые слова: электрохимическое осаждение, $p$-Si, металлический слой, осаждение металлов.
Поступила в редакцию: 02.03.2020
Исправленный вариант: 22.10.2020
Принята в печать: 09.11.2020
Англоязычная версия:
Semiconductors, 2021, Volume 55, Issue 3, Pages 384–386
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063782621030064
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: В. Н. Горяева, Р. А. Бисенгалиев, “Электроосаждение металлов на $p$-Si из водных электролитов”, Физика и техника полупроводников, 55:3 (2021), 286–288; Semiconductors, 55:3 (2021), 384–386
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{GorBis21}
\by В.~Н.~Горяева, Р.~А.~Бисенгалиев
\paper Электроосаждение металлов на $p$-Si из водных электролитов
\jour Физика и техника полупроводников
\yr 2021
\vol 55
\issue 3
\pages 286--288
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/phts5071}
\crossref{https://doi.org/10.21883/FTP.2021.03.50611.9385}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=45332278}
\transl
\jour Semiconductors
\yr 2021
\vol 55
\issue 3
\pages 384--386
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063782621030064}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/phts5071
  • https://www.mathnet.ru/rus/phts/v55/i3/p286
    • Эта публикация цитируется в следующих 1 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Физика и техника полупроводников Физика и техника полупроводников
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:52
    PDF полного текста:27
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024