|
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)
Изготовление, обработка, тестирование материалов и структур
Электроосаждение металлов на $p$-Si из водных электролитов
В. Н. Горяева, Р. А. Бисенгалиев Калмыцкий государственный университет имени Б. Б. Городовикова, 358000 Элиста, Россия
Аннотация:
Представлены особенности электрохимического осаждения металлических покрытий на $p$-Si и измерены свойства полученных металлических слоев. Исследована зависимость толщины обедненной области и внутреннего падения напряжения в ней от состава электролита и типа осаждаемого металла. Доказано влияние на свойства осадков, плотность тока и состав электролитов. Подбором предварительной обработки электролита и режима осаждения получены осадки металлов с приемлемой адгезией и малым продольным сопротивлением.
Ключевые слова:
электрохимическое осаждение, $p$-Si, металлический слой, осаждение металлов.
Поступила в редакцию: 02.03.2020 Исправленный вариант: 22.10.2020 Принята в печать: 09.11.2020
Образец цитирования:
В. Н. Горяева, Р. А. Бисенгалиев, “Электроосаждение металлов на $p$-Si из водных электролитов”, Физика и техника полупроводников, 55:3 (2021), 286–288; Semiconductors, 55:3 (2021), 384–386
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts5071 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v55/i3/p286
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 52 | PDF полного текста: | 27 |
|