|
Микро- и нанокристаллические, пористые, композитные полупроводники
Спектроскопия комбинационного рассеяния, инфракрасного поглощения и люминесценции нитрида алюминия, легированного бериллием
И. Д. Бреевa, В. Д. Яковлеваa, О. С. Кудрявцевb, П. Г. Барановa, Е. Н. Моховa, А. Н. Анисимовa a Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
b Институт общей физики им. А.М. Прохорова Российской академии наук, Москва, Россия
Аннотация:
Исследовано влияние высокотемпературной (T=1880$^\circ$C) диффузии ионов бериллия и электронного облучения на оптические свойства монокристаллического нитрида алюминия. Показано, что введение Ве в AlN приводит к изменению спектральных характеристик комбинационного рассеяния света и инфракрасного поглощения. Анализ спектров комбинационного рассеяния света и инфракрасного поглощения в кристаллах, содержащих примесь Ве, доказывает, что эта примесь является геттером собственных дефектов, ответственных за желтый цвет кристалла AlN и уширение линий в спектрах.
Ключевые слова:
нитрид алюминия, легирование, бериллий, геттер, собственные дефекты, комбинационное рассеяние света, фотолюминесценция, ифракрасное поглощение.
Поступила в редакцию: 12.11.2020 Исправленный вариант: 23.11.2020 Принята в печать: 23.11.2020
Образец цитирования:
И. Д. Бреев, В. Д. Яковлева, О. С. Кудрявцев, П. Г. Баранов, Е. Н. Мохов, А. Н. Анисимов, “Спектроскопия комбинационного рассеяния, инфракрасного поглощения и люминесценции нитрида алюминия, легированного бериллием”, Физика и техника полупроводников, 55:3 (2021), 251–255; Semiconductors, 55:3 (2021), 328–332
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts5066 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v55/i3/p251
|
|