|
Физика полупроводниковых приборов
Влияние адгезионных слоев на плазмонное усиление фототока металлическими нанодисками в фотодетекторах ближнего ИК-диапазона на базе квантовых точек Ge/Si
А. И. Якимовab, В. В. Кириенкоa, А. А. Блошкинac, А. В. Двуреченскийac, Д. Е. Уткинac a Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, г. Новосибирск
b Национальный исследовательский Томский государственный университет
c Новосибирский государственный университет
Аннотация:
Разработаны планарные плазмонные фотодетекторы Ge/Si с квантовыми точками Ge на подложках кремний-на-изоляторе, сопряженные с регулярными массивами металлических нанодисков на их поверхности. Обнаружено, что введение адгезионных слоев, необходимых для формирования стабильных наноструктур из благородных металлов, ведет к подавлению поверхностного плазмонного резонанса. Выбор алюминиевых нанодисков, не требующих адгезионных слоев, позволяет повысить эффективность фотоприемников в 40 раз на длине волны 1.2 мкм и в 15 раз при $\lambda$ = 1.65 мкм.
Ключевые слова:
локализованные поверхностные плазмоны, квантовые точки Ge/Si, фотоприемники.
Поступила в редакцию: 02.03.2021 Исправленный вариант: 12.03.2021 Принята в печать: 12.03.2021
Образец цитирования:
А. И. Якимов, В. В. Кириенко, А. А. Блошкин, А. В. Двуреченский, Д. Е. Уткин, “Влияние адгезионных слоев на плазмонное усиление фототока металлическими нанодисками в фотодетекторах ближнего ИК-диапазона на базе квантовых точек Ge/Si”, Физика и техника полупроводников, 55:7 (2021), 596–601; Semiconductors, 55:8 (2021), 654–659
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts5015 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v55/i7/p596
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 75 | PDF полного текста: | 24 |
|